ÀÌÇؼº ±âÀÚ
2Â÷ ¼¼°è´ëÀüÀ» ÀÏÀ¸Å² µ¶ÀÏÀÌ Ç׺¹Çϱâ Àü ¹Ì±¹°ú ¼Ò·ÃÀÌ Ä¡¿ÇÏ°Ô Àü°³ÇÑ ºñ°ø½Ä ÀÛÀüÀÌ ÀÖ´Ù. µ¶ÀÏ °úÇÐÀÚ »© °¡±â´Ù. ¹Ì±¹Àº 1945³â 4¿ù µ¶ÀÏ ¿¹³ª·Î ¸ô·¡ ÁøÀÔÇØ ¾î¶² ±â¾÷ÀÇ ¸·´ëÇÑ Æ¯Çã¿Í ¼³°è ¹®¼¸¦ ÀÔ¼öÇß´Ù. µ¶ÀÏ ºÐÇÒ ÅëÄ¡¸¦ °ñÀÚ·Î ÇÑ ¾âŸ ÇùÁ¤¿¡ µû¶ó °°Àº ÇØ 7¿ù ¿¹³ª°¡ ¼Ò·Ã±º ÁÖµÐÁö·Î ÆíÀԵDZâ Àü ¼±¼ö¸¦ Ä£ °ÍÀÌ´Ù. ¹Ì±¹Àº ÀÌ ±â¾÷¿¡¼ ÀÏÇÏ´ø 120¿© ¸íÀÇ ¿£Áö´Ï¾î, ¼÷·ÃµÈ ÀåÀÎ µîÀ» ÀÚ±¹ Á¡·ÉÁöÀÎ ½´ÅõÆ®°¡¸£Æ® ÇÏÀ̵§ÇÏÀÓÀ¸·Î À̼ÛÇß´Ù. ±¤ÇÐ ±â¼ú ¼¼°è 1À§ ±â¾÷ ÀÚÀ̽º(ZEISS) ¾ê±â´Ù.
¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î¸¦ »õ±â´Â ±ØÀڿܼ±(EUV) ³ë±¤Àåºñ´Â ¡®µÎ °³ÀÇ ½ÉÀ塯À¸·Î µÅ ÀÖ´Ù. EUV¸¦ ³»»Õ´Â Á¶¸í±¤Çаè¿Í EUV °æ·Î¸¦ ¸¸µå´Â Åõ¿µ±¤Çаè´Ù. ÀÌ µÎ ±¤ÇÐ°è ºÎÇ° ¼ö´Â 3¸¸5000¿© °³¿¡ ´ÞÇÑ´Ù. ÀÚÀ̽º´Â EUV ³ë±¤Àåºñ¸¦ ¼¼°è¿¡¼ À¯ÀÏÇÏ°Ô »ý»êÇØ ³×´ú¶õµå ASML¿¡ °ø±ÞÇÑ´Ù. ASMLÀº ¿©±â¿¡ ÀÚ½ÅÀÇ ±â¼ú·ÂÀ» ´õÇØ »ï¼ºÀüÀÚ, TSMC µî¿¡ ÆǸÅÇÑ´Ù. ÀÚÀ̽º°¡ ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå °¡Ä¡»ç½½ÀÇ ¿ø·ù¶õ ¾ê±â´Ù. ÀÌÀç¿ë »ï¼ºÀüÀÚ È¸ÀåÀÌ Áö³ 26ÀÏ µ¶ÀÏ ÀÚÀ̽º º»»ç¸¦ ¹æ¹®ÇÑ ÀÌÀ¯´Ù.
ÀÚÀ̽º´Â 1846³â ¼³¸³µÆ´Ù. 1816³âºÎÅÍ Çö¹Ì°æ °ø¹æÀ» ¿î¿µÇÏ´ø Ä«¸¦ ÀÚÀ̽º¿Í ¼öÇÐÀÚÀÎ ¿¡¸¥½ºÆ® ¾Æº£ ¿¹³ª´ë ±³¼ö°¡ ÀDZâÅõÇÕÇØ ±â¾÷À» ¼¼¿ì°í Å°¿ü´Ù. ÀÚÀ̽º°¡ ¡®¼öÇÐÀû È®½Ç¼º¡¯À¸·Î Çö¹Ì°æ ¼º´ÉÀ» ÃÖ°í·Î ¹ßÀü½Ãų ¼ö ÀÖ´Â Àü¹®°¡¸¦ ¹é¹æÀ¸·Î ã´Ù°¡ ¼·Î ¿¬ÀÌ ´ê¾Ò´Ù°í ÇÑ´Ù. ¾Æº£´Â 1869³â ±¤ÇÐÇö¹Ì°æÀÇ ¿ø¸®°¡ µÇ´Â ¼öÇÐ °ø½ÄÀ» ¼¼°è¿¡¼ óÀ½ °í¾ÈÇß´Ù. °ø½Ä ³»¿ëÀº ¡®ºöÀÇ ÆÄÀåÀÌ ÀÛ¾ÆÁ® Áý±¤·ÂÀÌ ³ô¾ÆÁö¸é ·»Áî Çػ󵵰¡ ¿Ã¶ó°£´Ù¡¯ÀÌ´Ù. ½º¸¶Æ®Æù ³» ¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î ¼±ÆøÀÌ ³ª³ë¹ÌÅÍ(§¬)±îÁö °¥ ¼ö ÀÖ¾ú´ø ±â¼úÀÇ Ãâ¹ßÁ¡ÀÌ ¹Ù·Î ÀÌ °ø½ÄÀÌ´Ù.
ÀÚÀ̽º´Â ÁÖ Á¤ºÎ°¡ ¼ÒÀ¯ÇÏ´Â °øÀÍÀç´Ü »êÇÏ À¯ÇÑȸ»ç´Ù. Á¤°ü¿¡ ÁÖ½Ä Àüü¸¦ Àç´Ü¿¡ ±Í¼ÓÇÏ°í ¿ÜºÎÀΰú °Å·¡ÇÏÁö ¸ø ÇÏ°Ô ÇØ ³ù´Ù. ÀÌ ¿øÄ¢Àº ⸳ ÀÌÈÄ º¯ÇÔÀÌ ¾ø´Ù. ¹Ì±¹ÀÌ ÀüÀï Åë¿¡¼µµ Ž³»´ø 200³â ±â¾÷ÀÇ ¶Ò½ÉÀÌ´Ù. ÀÌ ¶Ò½ÉÀÌ »ï¼ºÀüÀÚ°¡ °¡Àå Àý½ÇÈ÷ ¿øÇÏ´Â Àåºñ¿¡ ½ÉÀåÀ» ´Ü ¿øµ¿·ÂÀÌ µÆÀ» ÅÍ´Ù.
Ãâó: Çѱ¹°æÁ¦(2024.04.30.) Áö¸éA31